주성엔지니어링 반도체장비
주성엔지니어링의 핵심 사업 부문으로, 반도체 전공정 중 증착(ALD/CVD) 장비를 제조한다. 2025년 매출의 97.8%를 차지하는 주력 부문이다.
사업 내용
- 주요 제품: SD System(ALD, HDPCVD, Dry Etch, MOCVD, UHVCVD), ALMO(ALD, CVD), SDP System(Space Divided Plasma ALD/CVD), Guidance Series(ALD, CVD), Eureka(Epi).
- 메모리 반도체 DRAM Capacitor의 High-k layer ALD 증착 기술에 특화.
- Tech-Migration 가속화로 캐패시터 미세화에 필수적인 SDP System 수요 증가. 20nm 이하 미세공정의 실리콘 산화막·질화막·금속막·High-K 공정 ALD/CVD 장비 대체 가능.
- 비메모리·AI 반도체 분야로 제품군 다변화 추진.
매출 및 수익성 추이
(단위: 억 원)
| 구분 | 2025(제31기) | 2024(제30기) |
|---|---|---|
| 반도체 장비 매출 | 3,037 | 3,497 |
| 비율 | 97.8% | 85.4% |
주요 제품·서비스
- SDP System (Space Divided Plasma ALD/CVD)
- High-k ALD 증착 장비
- Eureka (Epi) 에피택시 장비
경쟁 현황
- ALD 장비 세계 시장 규모 2025년 기준 약 2.9억 달러, 2024~2032 연평균 10%+ 성장 전망(Gartner).
- 주성엔지니어링 ALD 장비 세계 시장 점유율 4위(2024 기준).
- 상위 경쟁사: ASM International(네덜란드, 1위), TEL(일본), LAM Research(미국).
KPI
- R&D/매출 비율 34.4% (전사)
- 반도체 장비 생산능력 1,617대, 2025년 생산실적 18대.
- 주요 고객: SK하이닉스, 삼성전자(공동개발 이력).