제품 개요
넥스틴이 2021년 6월부터 생산·판매 중인 웨이퍼 미소 패턴 결함 검사장비. Dark-field·Bright-field 검사를 한 장비 내에서 선택 구현하는 복합구성(Combo-system)이며, 355nm DPSS 레이저 광원, 4ea×12M CMOS 검출기, 99GFLOPS 이미지 처리 엔진을 탑재했다. 전작 AEGIS-DP(2016.09 출시) 대비 광학계를 간결화하고 Quantum Efficiency를 25% 향상시켰다.
시장 점유율
전공정 패턴 결함 검사장비 시장의 글로벌 최강자는 미국 KLA사이며, 넥스틴은 독자적 2차원 이미징 기술로 최대 검출 감도 30nm·검사 속도(300mm 웨이퍼 기준 시간당 40매) 수준에서 KLA 장비와 동등한 성능을 구현했다고 밝히고 있다(구체적 시장점유율 수치는 미공개).
주요 고객사
국내외 메모리·비메모리 반도체 소자 제조업체(개별사명 미공개, 미확인).
경쟁 제품
- KLA사 패턴 결함 검사장비(글로벌 최대 경쟁사)
시장 트렌드
- 2025년 매출 비중 39.1%(182억 원)로 전년(746억 원, 74%) 대비 크게 감소, 후속 HBM 전용 장비 KROKY로 매출 구조 이동 중