개요
2025년 5월 7일 종속회사 (주)에스엠아이(충북 청주시 흥덕구) 인수를 통해 신규 편입된 사업부문. 반도체 장비 제조·판매·설치를 주업으로 하며, 회계상 간주취득일(2025.6.30) 이후 매출부터 연결 반영되었다.
주요 제품
- LDS(Liquid Delivery System) — 반도체 생산 메인 장비에 특수액체가스(Precursor)를 공급하는 외부공급장치. 메인 장비 중단 없이 Chemical 교체 가능한 국내 기술 개발 설비. 2025년 매출 65.86억원(20.8%)
- Heat Jacket / Heat Bellows(Flexible Heater) — 반도체·Display·OLED 장비의 진공 배관 내 공정부산물 침적 방지를 위한 고온제어장치. Heat Bellows는 다중 구조(Liner+3중 Bellows)로 단열·불연 특화. 2025년 매출 44.03억원(13.9%)
- 기타 — 2025년 매출 30.10억원(9.5%)
2025년 반도체장비 사업부 총매출액(연간 환산)은 25,256백만원.
고객
SK하이닉스, SK키파운드리, 세메스, 율촌화학, 테스 등
관련 조직
- 담당 종속회사: 에스엠아이