사업 내용
알루미나 세라믹(Al2O3)은 내열성·내화학성이 우수해 반도체 대부분의 공정에서 사용된다. 주로 Chamber 하부 plasma 노출 부위 부품 또는 웨이퍼를 챔버 내부로 이송하는 Carrier 등 보조적인 역할을 수행한다.
매출 및 수익성 추이
| 연도 | 매출 (억 원) | 전사 매출 비중 |
|---|---|---|
| 2023년 | 27.9 | 4% |
| 2024년 | 38.4 | 5% |
| 2025년 | 46.5 | 5% |
주요 제품·서비스
- 알루미나 세라믹(Al2O3) Chamber 부품, Carrier 등