사업 내용

반도체·디스플레이(Solar 포함) 산업의 핵심 공정인 박막공정(PECVD·LPCVD·PEALD) 및 식각공정(Dry Etch) 장비에 사용되는 Remote Plasma Generator(RPG)와 Plasma 발생 전원 공급 모듈(RF Generator)을 제조한다. 회사의 창업 이래 핵심 사업이며, Applied Materials(AMAT) 등 해외 장비사에 부품 공급업체로 등록되어 있다. 최종 고객사인 삼성, LG, SK하이닉스 등에 직접 공급(사급)하거나 장비사에 OEM 형태로 공급(도급)한다.

매출 및 수익성 추이

구분2025년(백만원)2024년(백만원)
영업수익155,708155,542
영업이익14,0677,296
당기순이익(4,375)317

주요 제품·서비스

  • Remote Plasma Generator(RPG)
  • RF Generator (Plasma 발생 전원 공급 모듈)

경쟁 현황

박막·식각 공정 장비 제작사(고객사)로는 국내 원익IPS, 주성엔지니어링, 테스, 유진테크, 세메스, 피에스케이 등이 있고, 해외에는 Applied Materials(AMAT), LAM, TEL, ULVAC, ASM, HITACHI, MATTSON 등이 있다.

KPI

C/S(Overhaul 등 유지보수) 매출은 장비 라이프사이클(10년 이상)에 따라 12년 주기로 반복 발생하는 안정적 수익원이며, 24년 주기의 신제품·업그레이드 매출이 추가된다.

Citations