제품 개요
원자층 증착(ALD, Atomic Layer Deposition) 공정의 원소재인 전구체(프리커서)의 기화 이송을 위한 캐니스터, 초음파레벨센서, 기화기 등 각종 부품과, 이를 조립한 모듈인 PEB(Precursor Evaporation Box)를 포함한다. 지오엘리먼트의 파트사업부가 제조·판매하며, 전구체에 대한 높은 이해를 기반으로 전자소자 양산공정에 최적화된 솔루션을 제공한다. 초음파 Level Sensor는 2011년 CE인증, 2014년 KCS 방폭인증, 2015년 중국(NEPSI) 방폭인증을 획득하였다.
시장 점유율
| 기업 | 점유율 | 기준 연도 |
|---|---|---|
| 지오엘리먼트 | 미확인 | 2025 |
주요 고객사
- 국내외 반도체·디스플레이 소자사, 장비사, 소재사 (실명 미공개)
경쟁 제품
| 제품명 | 제조사 | 특징 |
|---|---|---|
| PEB(Precursor Evaporation Box) | 지오엘리먼트 | 전구체 기화이송 모듈 |
시장 트렌드
ALD 공정 확대에 따라 전구체 기화이송 솔루션 수요가 증가하고 있으며, 고객별 맞춤 개발과 신규 시장(일본·대만·중국) 진출을 통해 수출이 급증하는 추세이다.