제품 개요

유량계(Flow Meter)와 LFC(Liquid Flow Controller)는 반도체 세정설비에 탑재되어 약액의 유량을 정확히 측정하고 토출량을 미세 제어하는 핵심 부품입니다. 반도체 미세공정에서 수율 확보를 위해 전공정 간 고도화된 세정기술이 요구되며, 웨이퍼 표면에 고순도 세정액을 정해진 양만큼 분사하는 정밀 제어가 핵심 기능입니다.

시장 점유율

원본 사업보고서에 정량적 시장 점유율 수치는 공개되어 있지 않음(미확인).

주요 고객사

  • 주요 반도체 세정설비 업체(사명 비공개, 미확인) — 이엘씨 다년간 납품 실적 보유

경쟁 제품

제품명제조사특징
유량계·LFC이엘씨고정밀도, 반도체 세정설비향 다년 납품 실적

시장 트렌드

반도체 미세공정 고도화에 따라 세정기술 정밀도 요구가 높아지며 관련 부품 수요 확대 전망.

Citations