제품 개요
OLED Oxide TFT 증착장비는 OLED 디스플레이 패널을 구동하는 산화물(Oxide) 박막트랜지스터(TFT)를 형성하는 CVD/ALD 증착장비다. 주성엔지니어링은 세계 최초로 Oxide TFT용 TSD(Time/Space Divided) CVD(ALD) 방식 장비를 개발해, 기존 PVD(스퍼터링) 대비 전자 이동속도 3배 이상, 전력 소모 20% 이상 저감을 구현했다.
저전력·고이동도 특성으로 대형 OLED TV 패널 및 IT용 패널의 핵심 공정 장비로 채택되고 있다. 2~10.5세대 전 세대 패널 양산에 대응 가능하며, 국내 최초로 10.5세대 TFT(MOALD & PECVD) 장비 개발을 완료했다.
시장 점유율
| 플레이어 | 세계 점유율 | 비고 |
|---|---|---|
| 주성엔지니어링 | 약 40% 이상(추정) | Oxide TFT용 TSD CVD 세계 최초 상용화 |
점유율 수치는 본문 명시(Oxide TFT 장비 세계 시장 점유율 약 40% 이상). 경쟁사 구성·정확한 순위는 본문 미명시(미확인).
주요 고객사
- LG디스플레이
- InfoVision Optoelectronics 등 패널업체
경쟁 제품
- 해외 디스플레이 장비업체의 Oxide TFT용 PVD(스퍼터링) 증착장비
- 대면적 OLED용 TFT 증착장비 (경쟁사명 본문 미명시)
시장 트렌드
- 대형 OLED TV 및 IT용 OLED 패널 확산으로 저전력·고이동도 Oxide TFT 채택 증가
- 8.6세대·10.5세대 대형 패널 라인 투자에 따라 대면적 증착장비 수요 변동
- ALD·CVD를 하나의 챔버에서 구현하는 Hybrid 방식 등 증착 효율화 기술 경쟁