개요
반도체 생산 메인 장비는 기존 소형 저수조탱크를 통해 Precursor(공정별 특수액체가스)를 공급하는데, 잦은 탱크 교체 시 메인 장비를 중지해야 하는 단점이 있다. LDS(Liquid Delivery System)는 이를 대체하는 외부공급장치로, 메인 장비 중단 없이 Chemical 교체를 진행할 수 있는 국내 기술력으로 개발된 설비다. 에스엠아이가 제조·판매하며 SK하이닉스, SK키파운드리, 세메스 등에 공급된다.
실적 (2025, 에이치엠넥스 연결)
- 매출액: 65.86억원
- 매출 구성비: 20.8% (전사 매출 대비)